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AlN陶瓷封接,玻璃粉到底该不该“高钡高锌”? 封接AlN陶瓷时,你最不能接受哪种失效? A.冷热冲击后界面开裂 B.高温老化500h后漏率飙升 C.封接层出现肉眼可见气泡 D.长期潮湿环境后绝缘下降 本期主角:Ba-1026中高温AlN专用封接玻璃粉(BaO–ZnO–B₂O₃–SiO₂–Al₂O₃体系) 它打出的标签是:高气密、抗热震、耐腐蚀、长寿命。 下面我们把它的 完整参数档案 摊开——不吹不黑,数据说话。然后想和大家认真讨论:这些性能背后的“代价”或“工艺门槛”,你的产线能接受吗? 参数 典型值 玻璃转变温度Tg 565℃ 软化点Ts 725℃ 封接温度范围 780–850℃ 热膨胀系数CTE(30–300℃) 4.6ppm/K 与AlN基板CTE差值 <0.3ppm/K 抗热震性 –55℃↔300℃,1000次,无裂纹 参数 典型值 封接层致密度 >99.5% 剪切强度(AlN–AlN) 52±4MPa 界面反应层厚度 <1.5μm 接触角(850℃,AlN表面) 22° 参数 典型值 体积电阻率(室温) 2.3×10¹⁴Ω·cm 体积电阻率(300℃) 4.8×10¹⁰Ω·cm 介电常数(1MHz) 6.2 介质损耗(1MHz) 0.0018 介电强度 18kV/mm 参数 典型范围 备注 中心粒径D50 2.5–4.5μm 可定制 最大粒径D99 <20μm 避免堵网 比表面积 1.2–1.8m²/g BET 松装密度 1.1–1.3g/cm³ — 1. ✅优势很突出 · 1.封接温度偏高(780–850℃) · 对比:传统PbO系620℃,Bi₂O₃系680℃。 · 影响: · 需要基板及金属化层耐受850℃(某些镀层会氧化或扩散)。 · 能耗增加,炉管寿命可能降低。 · ZnO在>850℃下挥发风险升高,需严格控制峰值温度及保温时间。 · 2.高BaO>25%带来的析晶敏感性 · 降温速率过慢(如>5℃/min)时,可能在600–700℃区间析出BaSiO₃或BaAl₂Si₂O₈。 · 后果:析晶导致封接层脆性增加,漏率上升。 · 对策:必须采用 较快冷却(风冷或水冷,>10℃/min),或优化退火工艺。 · 3.低B₂O₃(<10%)的代价 · 优点:耐水性好,不腐蚀AlN。 · 缺点:玻璃网络形成体不足,熔体表面张力略高于高硼玻璃(~290mN/mvs.~250mN/m),对某些粗糙表面浸润性稍弱。 · 要求:AlN基板表面清洁度、粗糙度需控制(Ra0.2–0.5μm最佳)。 · 4.对气氛敏感 该玻璃中Ba²⁺易与CO₂反应生成BaCO₃表面白霜。 封接气氛需惰性(N₂或Ar),或严格无CO₂的还原性气氛(如N₂+H₂)。 若在空气中封接,表面会发白且漏率上升。 三、一张表看懂:Ba-1026 vs 常见竞争体系 性能/参数 Ba-1026(高钡锌) 高硼铋系(Bi₂O₃-B₂O₃-SiO₂) 高铅系(PbO-B₂O₃-SiO₂) CTE(ppm/K) 4.6 5.2–5.8 5.0–5.5 Tg(℃) 565 380–420 300–340 封接温度(℃) 780–850 630–720 590–650 300℃体积电阻率(Ω·cm) ~5E10 ~1E9 ~1E8 耐水性(95℃/96h失重mg/cm²) <0.15 0.5–2.0 <0.1 是否含Pb 否 否 是(RoHS受限) 主要失效模式 析晶(冷却快慢敏感) 高温电阻下降、水解 铅挥发、环保受限 推荐应用场景 高可靠、长寿命、高温 中低温、成本敏感 已逐步淘汰 需要 精确温控(升温、峰值、降温曲线) 需要 惰性气氛保护 需要 较快的冷却速率 需要 AlN表面预处理(清洁度、粗糙度) 问题来了: 1️⃣你的产线目前封接温度最高能接受多少度?850℃会不会烧坏焊盘或金属化层? 2️⃣你有能力做 快速冷却(风冷/水冷)吗?还是只能随炉慢冷? 3️⃣面对“高钡析晶”风险,你愿意修改降温工艺,还是宁可换一款不那么敏感、但性能略低的玻璃? 4️⃣如果Ba-1026的气密性和长期寿命比常规玻璃高一档,但单公斤价格贵30%,你会选它吗? 5️⃣你测过当前用的封接玻璃在300℃/1000h老化后的漏率吗?有没有踩过“当时不漏,用一年就漏”的坑? 如果您感觉对我们公司的Ba-1026有兴趣,欢迎联系我们来领取详细资料和小样!一、Ba-1026核心参数一览(实测典型值,非仅保证值)
1.热物理性能
2.界面与机械性能
3.电学性能
4.粉体特性
二、从这些数据中,我们看到了什么?
CTE精准匹配:4.6ppm/Kvs.AlN4.5ppm/K,差值仅0.1–0.3。这意味着即使大尺寸基板(如100×100mm)封接,冷却后边缘与中心的应力差极小,彻底杜绝开裂。
高剪切强度+薄反应层:52MPa已超过大部分有机胶或低温玻璃;反应层<1.5μm说明既形成了化学键合,又没有过度侵蚀AlN基板。
气密性优异且稳定:初始<5E-10,老化1000h后仍<1E-9,这已经达到 军用混合集成电路封接标准。
高温绝缘可靠:300℃时仍有4.8E10Ω·cm,比很多同类玻璃高一个数量级,适合SiC/GaN高温工作环境。
耐水性能出色:95℃水中失重极少,意味着在车载、户外潮湿环境中不易水解老化。
⚠️工艺门槛与潜在风险
四、你愿意为了“长寿命高可靠”接受更高的工艺门槛吗?
Ba-1026的数据看上去很漂亮,但它不是一个“傻瓜式”材料:
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